• 江蘇省機械工程學會招聘工作人員啓事


    (具體內容詳見“通知公告”欄目)


  • 2020第二十一屆江蘇國際智能裝備制造業博覽會

    2020 21th Jiangsu International Intelligent Equipment Manufacturing Industry Exposition
    时 间:2020年03月27-29日 地 点:南京国际博览中心
    主辦單位:江蘇省機械工程學會
    协 办:江苏省机械工程学会机械设计与传动分会
    江蘇省機械工程學會無損檢測與失效分析分會
    承辦單位:南京鳳凰展覽有限公司

    新聞資訊

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    京儀裝備公司成功研發國內首台晶圓自動翻轉倒片機

    时间:2019/12/25 9:23:43    浏览次数:14    字体:   
       近日,京仪集团所属北京京仪自动化装备技术有限公司(简称“京仪装备”)成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机,破解国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题,并申请6项专利,其中发明专利2项,实用新型专利4项,属国内首创,打破国外产品的技术垄断,极大增强了京仪装备在半导体附属设备领域的市场竞争力。
       翻片模块是由京仪装备技术团队自主设计研发并具有独立翻片夹手的模块,采用特殊材质,tong先进的工艺流程制作,保证翻片模块在传片过程中,对晶圆不造成颗粒污染。翻片模块核心特点为体积小,高集成度,高安全性、高稳定性,同时此功能配有IO和通讯两种接口控制方式,易于定制化且可集成到其他的半导体设备中。
       晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺,用力过猛容易导致晶圆表面破损,力度太小晶圆则会自动脱落,加之晶圆表面的高精密性,倒片机只能夹住晶圆的两边进行自动翻转,这就给自动翻转倒片机的研发带来了难题。
    京儀裝備技術攻關小組經過無數次的實驗,通過改變力的傳感器作用原理,同時對結構進行重新優化設計,終于攻克了國産晶圓自動翻轉倒片機不能自動翻轉的難題。
       目前,京仪装备研发的首台晶圆自动翻转倒片机已经在上海集成电路研发中心得到成功应用。早期型号倒片机已经在中芯国际、长江存储等多家企业得到应用。
       京仪装备的Sorter团队成立于2009年,历时十载,研制出了国内首台8英寸Wafer Sorter、首台12英寸Wafer Sorter,2014年12英寸Wafer Sorter正式投入商用,打破了该领域国际厂商的垄断局面。截至2019年,京仪装备品牌的Wafer Sorter已经覆盖了国内8个半导体制造商,得到了客户的广泛认可,在国产Sorter领域中,京仪装备Wafer Sorter市场占有率持续保持前列。